• <tr id='Dx87iM'><strong id='Dx87iM'></strong><small id='Dx87iM'></small><button id='Dx87iM'></button><li id='Dx87iM'><noscript id='Dx87iM'><big id='Dx87iM'></big><dt id='Dx87iM'></dt></noscript></li></tr><ol id='Dx87iM'><option id='Dx87iM'><table id='Dx87iM'><blockquote id='Dx87iM'><tbody id='Dx87iM'></tbody></blockquote></table></option></ol><u id='Dx87iM'></u><kbd id='Dx87iM'><kbd id='Dx87iM'></kbd></kbd>

    <code id='Dx87iM'><strong id='Dx87iM'></strong></code>

    <fieldset id='Dx87iM'></fieldset>
          <span id='Dx87iM'></span>

              <ins id='Dx87iM'></ins>
              <acronym id='Dx87iM'><em id='Dx87iM'></em><td id='Dx87iM'><div id='Dx87iM'></div></td></acronym><address id='Dx87iM'><big id='Dx87iM'><big id='Dx87iM'></big><legend id='Dx87iM'></legend></big></address>

              <i id='Dx87iM'><div id='Dx87iM'><ins id='Dx87iM'></ins></div></i>
              <i id='Dx87iM'></i>
            1. <dl id='Dx87iM'></dl>
              1. <blockquote id='Dx87iM'><q id='Dx87iM'><noscript id='Dx87iM'></noscript><dt id='Dx87iM'></dt></q></blockquote><noframes id='Dx87iM'><i id='Dx87iM'></i>
                ?
                ?
                LL Automation 电话 +86 150 0067 4198
                您身边的流量计供应商-上海领理自动化

                LL-HS-DS 热式气体质量流量控制器

                LL-HS-DS 热式气体质量流量控制器

                一、产品简介:

                       质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精 密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、 环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺 设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔 炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

                二、主要技术指标:

                1量程范围                (0~500,1000,1500,2000,2500,3000...)SLM
                2准 确 度                ±0.5%F.S/±1.0%F.S
                3线                    ±0.5%F.S
                4重复精度                ±0.2%F.S
                5响应时间                电特性:1sec 气特性:(1~4)sec
                6工作压差                0.02~1.0Mpa
                7                    3Mpa,10Mpa
                8工作环境温度                0~50℃
                9数 字 量                RS485/232 MODBUS 协议
                10模 拟 量                DC 0~5V ,1~5V,4~20mA 可选
                11                    DC ±15V/24V 可选,电源功率≥20W
                12电气连接                DB15 针
                13                    1×10-9SCCSHe
                14底座材质                316L 不锈钢
                15密封材质                氟橡胶,聚四氟乙烯,丁晴橡胶
                16气路接头                3/4〞,φ20,φ25,法兰连接




                注意
                质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N?)标定。
                质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)。
                标准状态规定为:
                温度-----298.15K (25℃);
                气压-----101325 Pa (760mmHg)
                F. S (Full Scale); 满量程值

                三、工作原理:

                LL-HS/DS 系列气体质量流量控制器卓越的精度、坚固性及可靠性源于我公司独特的 传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器,能自动校正温度 及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值,然后测 量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的 原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器(RTD)。白金 RTD 丝缠绕在坚固 的陶瓷芯轴上,牢固且可靠。整个传感器密封在 316 不锈钢包装壳内。

                四、一般异常情况判断和处理:

                现象可能原因处理方法
                                开机后无气体流过                气源未开, 气路不通                接通气源, 开通气路
                                没有设定目标流量                参照操作详解 3.3.1
                                过滤器堵塞                更换过滤器
                                调节阀故障                检查阀线圈是否断开,清洗调节阀
                                电路故障                维修电路
                                零点偏差                参照操作详解 3.3.6
                                流量控制不稳定                传感器故障                更换传感器
                                电路故障                维修电路
                                阀门污染                清洗阀门,更换密封件
                                气源压强太低或不稳                提高气源气压,稳定气源压强
                                在 阀 门 关 闭 的 情 况下,仍有较大的流量流过                调节阀故障                重新调整调节阀
                                入口气压过高                降低入口气压
                                通道堵塞                清洗 MFC 通道
                                流量显示不能达到满量程值                设定目标流量低于满量程                检查设定值
                                其它电路故障                维修电路
                                不通气时零点不稳定                电路故障                维修电路
                                传感器故障                更换传感器

                     


              2. 上一篇:LL-XD MASS系列质量流量计/控制器

              3. 下一篇:没有了!
              4. LL-D MASS系列质量流量计/控制器/LL -D mass 系列是一款模拟数字兼容模式的仪表,可通过模拟数显控制仪或仪表面板调节,或者 PLC 进行设定和显示···...

                更新时间:2021/08/31

                LL-XD MASS系列质量流量计/控制器/XD mass 系列是一款模拟数字兼容模式的仪表,可通过模拟数显控制仪或仪表面板调节,或者 PLC 进行设定和显示瞬时流···...

                更新时间:2021/08/31

                ?
                ? ?
                [{ "site.code": "cn", "general.cookie_message": "本网站使用Cookie来确保您在我们的网站上获得最佳的体验。", "general.cookie_learnmore": "更多信息", "general.cookie_dismiss": "知道了!" }]